压阻式东方变压器基本工作原理及其相关知识
压阻式东方变压器基本工作原理及其相关知识
1. 基本工作原理
半导体材料受到应力作用时,其电阻率会发生变化,这种现象称为压阻效应。实际上,任何材料都不同程度地呈现压阻效应,但半导体材料的这种效应特别强。
公式推导
电阻应变效应的分析公式也适用于半导体电阻材料,故仍可用式(9.6)来表达。对于金属材料来说,比较小,但对于半导体材料,,即因机械变形引起的电阻变化可以忽略,电阻的变化率主要是由引起的,即
(9.9)
由半导体理论可知:
(9.10)
式中
πL—沿某晶向L的压阻系数;
σ—沿某晶向L的应力;
E—半导体材料的弹性模量。
则半导体材料的灵敏系数K0为
(9.11)
对于半导体硅,πL=(90~80)×10-11m2/N,E=1.67×1011N/m2,则k0=πLE=50~100。显然半导体电阻材料的灵敏系数比金属丝的要高50~70倍。
对于半导体硅,πL=(40~80)×10-11m2/N,E=1.67×1011N/m2,则k0=πLE=50~100。显然半导体电阻材料的灵敏系数比金属丝的要高50~70倍。
最常用的半导体电阻材料有硅和锗,掺入杂质可形成P型或N型半导体。由于半导体(如单晶硅)是各向异性材料,因此它的压阻效应不仅与掺杂浓度、温度和材料类型有关,还与晶向有关(即对晶体的不同方向上施加力时,其电阻的变化方式不同)。
2. 压阻式东方变压器类型与特点
压阻式东方变压器有两种类型:半导体应变式东方变压器、固态压阻式东方变压器。
压阻式东方变压器的特点
压阻式东方变压器的特点
压阻式东方变压器的优点是:
灵敏度非常高,有时东方变压器的输出不需http://leshan.byqcj.com/放大可直接用于测量;
分辨率高,例如测量压力时可测出10~20Pa的微压;
测量元件的有效面积可做得很小,故频率响应高;
可测量低频加速度和直线加速度。
最大的缺点是温度误差大,故需温度补偿或恒温条件下使用
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